科学：中科院立功！5nm激光光刻研究获进展

【中科院立功！5nm激光光刻研究获进展】近日，中科院苏州纳米所张子旸团队基于光热反应机理，设计开发了一种新型三层堆叠薄膜结构。所开发的新型微纳加工技术在集成电路、光子芯片、微机电系统等众多微纳加工领域展现了广阔的应用前景。

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