先导工艺研发中心的首席科学家和项目首席专家朱慧珑，是来自IBM的引领发明家和发明大师，主要负责整体技术路线的制定和布局，在器件物理、工艺研发、TCAD和知识产权布局等发挥主导作用。他身先士卒，在项目中完成了200多项专利申请。

赵超曾在世界著名的研发中心IMEC从事了10多年研发工作，其研发领域涵盖集成电路前道工艺和后道工艺，对8英寸、12英寸工艺线上多个技术代工艺研发有较全面的经验。

2011年，他受命担任先导工艺研发中心主任一职，负责中心的行政领导工作；同时，作为项目的副首席专家，他负责工艺平台的建设工作，对研发中心整体建设付出了大量的艰苦劳动。

闫江则拥有在英飞凌公司美国研发部10年的工业界研发经验。他曾参与和负责了从90纳米、65纳米、45纳米和32纳米技术代的产品研发项目。作为项目的副首席专家，他负责工艺整合子课题的领导工作，带领着30多名工程师冲锋在第一线。

对于先导工艺研发中心的使命，几位“千人计划”专家有着一致的认识：“我们是国家集成电路工艺研发战役中的‘穿插部队’和‘侦察部队’”。

朱慧珑解释道：“穿插部队的特点和任务就是：一要效率高，二要能占领战略要地。”先导工艺研发中心作为穿插部队，它的一个优势就是快速、灵活，可以先于工业界的“大部队”插入敌后，并用专利布局的方法占领与其投入相称的战略要地。