接下来就可以进行工艺参数的设置,速度调成2000左右,功率调到40%,选择点雕刻,并选择每mm两个点,停留时间为2毫秒,全部设置好后,开启热光模式。

然后进行对焦,就可以开始光刻了。

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再拿出刚配好的显影液,不要倒太多,以免浓度过高,没有空间可以稀释以及补充碱液。

配置妥当后,反影就可以开始了。玻璃片的表面会有红色物质生成,是重新溶解的光刻胶。

由于是自配的显影液,所以在某些参数的位置掌握得不太好。

显像的位置不是很明显,只能看到一片玻色显影。

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如果要看详细的,只能在显微镜下面看,有的地方是被腐蚀得不是很好。并在中等位列的情况下,是可以看到做出来的效果还可以,黑影的位置是在刚刚处理得不够充分,还缺少一些腐蚀时间。

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最高分辨率的情况下,一个点的结构:

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根据对孔径的测量,大概是75μm的直径。

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网友评论:用最简陋的设备尝试最有趣的事

目前,小彭同学的视频已经有了20万的播放量。网友们对此评价也相当高。

有的网友劝小彭同学毕业后直接去上海微电子应聘,评论区也有专业人士邀请他一起合作研发。

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