现场图片显示,新核芯科技进场的首台封装光刻机确实由上海微电子生产,但设备总数和具体技术细节并未披露。

台媒炒“富士康引进大陆产光刻机”

图片来源:青岛西海岸新区国际招商

随后在12月5日,联合新闻网等台媒报道称,在青岛正式投产的富士康集团第一座晶圆级封测厂,引进多达46台上海微电子的28nm光刻机。报道称,该光刻机8月完成技术检测和认证,意味着上海微电子的光刻机实现从90nm到28nm的跨越。

观察者网查询上海微电子官网发现,该公司光刻机产品分为用于IC前道制造的600系列光刻机和用于IC后道先进封装的500系列光刻机。其中,600系列光刻机最新型号SSA600/20的分辨率为90nm,而500系列光刻机的最小分辨率为1μm。

台媒炒“富士康引进大陆产光刻机”

显然,台媒混淆了制造用光刻机和先进封装用光刻机。

台媒炒“富士康引进大陆产光刻机”

台媒报道截图

在封装用光刻机领域,上海微电子早有突破。

2020年6月,方正证券的一份研报显示,上海微电子在封装光刻机领域已经实现批量供货,是多家封测龙头企业(日月光、通富微电、长电科技等)的主要供货商,国内封装光刻机市场占有率高达80%。不只在国内市场有所建树,上海微电子的封装光刻机还出口海外市场,在全球市场的占有率高达40%。

今年9月,上海微电子宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。据该公司介绍,此次推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点,可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用。

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封装光刻机市场占有率 方正证券2020年6月研报截图

但在制造领域,上海微电子与阿斯麦等国外光刻机巨头的差距十分明显。

方证证券指出,由于IC前道光刻机技术最为复杂、难度最大,因此需求量和价值量在所有光刻机中都是最高的,中国目前与荷兰阿斯麦等国外先进水平存在不小差距。