光刻机就差临门一脚了，这就是光刻机最艰难的零部件：物镜！

国产光刻机的制造最难的还是在物镜系统上，浸润式光刻机与干式光刻机的不同之处是，浸润式光刻机要在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水，然后193nm的光波在水中被折射成134nm，所以物镜系统不一样。

浸没式光刻物镜异常复杂，需要攻克光学、机械、计算机、电子学等多个学科领域最前沿难题，二十余枚镜片的初始结构设计难度极大，我国整体举国之力攻关，这个突破了也就解开所有难题了。