5nm!我国报道一种新型超高精度激光光刻技术

图2.双束交叠加工技术示意图(左)和5nm 狭缝电极电镜图(右)。

纳米狭缝电极作为纳米光电子器件的基本结构有广泛的应用。该团队利用发展的新技术制备出纳米狭缝电极为基本结构的多维度可调的电控纳米SERS传感器。可在传感器一维方向上对反应“热点”完成定点可控,实现了类似逻辑门“0”、“1”信号的编码和重复(图3a-b),并可通过狭缝间距和外加电压的改变,实现了对反应“热点”强度的精确可调(图3c-d),这对表面科学和痕量检测等研究有重要意义。

5nm!我国报道一种新型超高精度激光光刻技术

图3.(a)纳米SERS传感器的光学显微镜图;(b)一维线性扫描下拉曼信号谱;(c)不同宽度下拉曼信号谱;(d)不同外加电压下拉曼信号谱。

论文第一作者为苏州纳米所与中国科学技术大学联合培养的硕士研究生秦亮;苏州纳米所与兰州大学联合培养的博士研究生黄源清和青岛大学夏峰为论文的共同第一作者;张子旸和刘前为论文的通讯作者。研究工作得到国家重点研究计划项目、国家自然科学基金、Eu-FP7项目、中国博士后科学基金的支持。

来源:苏州纳米技术与纳米仿生研究所。