据介绍，技术团队通过采用加热炉分区控制、变径协调和螺旋绕丝等技术措施，解决了这项技术难题。

“有效热区是在圆柱形的缸体内，外侧用保温棉缠绕、加装不锈钢隔热桶。其中底座实现单独控温，加热方式可参考电水壶底部的电炉丝。”吴小平介绍道，缸体内被划分为5个温区，为确保对内部温度的实时监测，每区配有两个同时运作的温度传感器。

此外，由于高纯溅射靶材特殊的工艺需求，要求热等静压设备具有控制精度为±1兆帕的气体压力比例控制功能。川西机器技术团队专门研制了一台具有高精度比例控制功能的气体压缩机以满足其工艺要求。

“能自主研发这一超大规格热等静压设备，自己以往‘做梦都不敢想’。”姚力军表示，它实现了对控制、压力、机械、温度等多方面技术的整合，补齐了我国在电子材料产业领域的设备短板，将为保障全球半导体产能提供技术支撑。（洪恒飞 徐添怡 记者 江 耘）

来源： 科技日报