【文/观察者网 吕栋】
在美国政府层层阻挠下，村田、索尼、铠侠等日本半导体供应商过去两年已不能再与华为进行正常的商业往来。现在，上游的日本半导体设备企业也开始担心类似的遭遇可能会出现自己身上。
当地时间8月8日，东京电子（Tokyo Electron）高管在披露财报时坦言，该公司“非常担心”美国扩大对中国的高科技出口管制。中国是这家日本半导体设备巨头的关键市场。
2021年，东京电子位列世界第三大半导体设备供应商，排在它前面的分别是美国的应用材料（Applied Materials）和荷兰的阿斯麦（ASML），后面是两家美企泛林集团（Lam Research）和科天（KLA）。
据东京电子透露，该公司尚未收到美国政府任何关于停止向中国大陆出口的要求。但东京电子一名高管在财报会上表示，他看到了美国政府正试图扩大对中国大陆出口管制范围的报道。
日经亚洲评论报道截图
上个月，美国半导体设备巨头泛林集团和科天在电话会议上透露，他们已经接到美国政府的通知，禁止未经许可向中国大陆芯片制造商出售大多数可以制造14nm或更先进制程芯片的设备。在此之前，美国对华的出口管制范围仅适用于10nm或更先进制程。
所谓制程，指的是芯片上晶体管之间的宽度。通常情况下，制程越小，意味着芯片的性能越先进，也就需要更先进的设备去制造。在上述出口管制范围扩大的消息传出前，美国通过了《2022年芯片与科学法案》，该法案将向美国本土半导体产业提供约527亿美元的资金支持。
“如果实施此类限制，我们的中国（大陆）客户可能无法生产芯片，我们非常担心（very concerned）这种情况。”东京电子财务部门总经理河本浩（Hiroshi Kawamoto）在财报发布会上坦言。
芯片制造涉及数百种工艺和众多供应商。而东京电子的产品几乎覆盖了半导体制造流程中的所有工序，其主要产品包括：涂布/显像设备、热处理成膜设备、干法刻蚀设备、化学气相沉积设备、湿法清洗设备及测试设备。不过，该公司的设备也需要与其他公司的设备合作，比如光刻机，才能使产线运转。
“中国（大陆）对我们来说是一个非常重要的市场，占我们销售额的四分之一以上。”河本浩透露，“我们相信中国市场将继续增长。然而，芯片生产中心继续随着竞争格局和其他因素的变化而转移。无论客户在哪里，我们都会为他们提供服务。”