德国光刻机研发“三巨头”因其项目“EUV 光刻——数字时代的新曙光”而获得 2020 年德国未来奖（左起）：弗劳恩霍夫应用光学与精密工程研究所 IOF 的 Sergiy Yulin 博士、蔡司 SMT 部门的 Peter Kürz 博士和通快半导体制造激光系统公司的 Michael Kösters 博士。
而这位Sergiy Yulin博士（照片2）一直专注在德国弗劳恩霍夫应用光学与精密工程研究所常年研究先进光学技术，发表论文上无数，也是EUV光刻机的光学部分的首席科学家，这也充分说明德国在光学领域研究的深厚。
有了德国先进光学技术，也成就一大批德国与光学相关企业。
原文：www.toutiao.com/article/1841299274612736/
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