德媒:中国芯片设备本土供应商的进步速度惊人。
蚀刻工艺是芯片制造的关键步骤,使用化学反应(湿法刻蚀)或高能离子(干法/等离子体刻蚀)去除未被光刻胶保护的薄膜材料,从而把电路图案永久地转移到芯片。
据消息人士透露,中国最大的芯片设备集团北方华创在中芯国际一条先进的 7 纳米生产线上测试其蚀刻设备。此前,北方华创已成功将蚀刻设备应用于 14 纳米生产线,此次测试的早期阶段性成果表明,中国本土供应商的进步速度惊人。
消息人士称,以前中国先进的蚀刻设备主要由 Lam Research 科林研发和东京电子等外国公司供应,但现在北方华创及其规模较小的竞争对手中微公司(AMEC)正在部分取代这些外国公司。
北方华创也已成为中国存储芯片制造商的关键合作伙伴。消息人士称,北方华创还开发了固定芯片的静电吸盘,以取代科林研发因 2023 年美方限制措施而无法继续维修的磨损部件。
中国的发展令全球竞争对手感到担忧,因为外国供应商正被挤出中国市场。据 Anaqua 的 AcclaimIP 数据库统计的数据,北方华创在 2025 年提交了创纪录的779项专利申请,是 2020 年和 2021 年提交数量的两倍多,而中微公司也提交了 259 项。
北方华创今年上半年的营收增长了 30%,达到 160 亿元人民币。中微公司上半年的营收增长了 44%,达到 50 亿元人民币。
分析师估计,中国光刻胶去除和清洗设备的自给率已达到约 50%,该市场此前由日本企业主导,但现在由北方华创在本土市场占据领先地位。
一位消息人士称:"中国本土设备市场将由两到三家主要制造商主导,北方华创肯定是其中之一"。
来源:DW
原文:toutiao.com/article/1852986667583500/
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