高阶技术壁垒

电子气体作为一种非常重要的半导体材料,参与到几乎每一个芯片制造环节中,广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。

除了纯气外的电子特种气体约占集成电路材料总成本5%-6%。虽然占比不大,但是很大程度上决定了半导体器件的良率。

应特格看中了中国对于电子气体不断上升的需求。据SEMI的数据,预计未来全球将有62 座新建晶圆厂投产,中国在2017-2020 年将有26 座晶圆厂投产,投资计划占全球新建晶圆厂数量的42%。

虽然市场广阔,但目前国内高纯气体市场几乎全部依赖进口,主要生产供应商是美国气体化工(APCI)、美国普莱克斯(Praxair)、日本昭和电工(Showa Denko)、英国BOC 公司、法国液化空气(Air Liquid)、日本酸素公司等。

博纯材料董事会主席兼首席执行官陈国富表示,造成这一状况的原因是国外公司不愿意在中国设厂,向国内转移合成气体技术,将技术本地化。所以,应特格也是首家在中国本地化生产特殊气体产品的国际材料公司。

另外,中国本土气体公司生产工艺、分析纯化技术等很难达到要求越来越高的晶圆制造的要求。