“半导体走到10纳米节点，从颗粒和杂质来说，半导体特殊气体的要求比其他高1000倍以上。”特殊材料与工程材料事业部总经理暨资深副总Stuart Tison介绍，“打个比方，特殊气体所需要的纯度，相当于在整个江苏省的范围内不能有两个硬币大小的灰尘；或者说，相当于尼亚加拉大瀑布一天的水量中不能有超过一滴水大小的金属杂质。”

Stuart Tison表示，生产气体本身不是很难的事情，但非常高纯度的气体要求严格，需要没有任何杂质。

“半导体气体生产的瓶颈很多，从原材料纯度开始，到合成工艺、对于温度和压力的控制，再到提纯方法，以及封装过程中对于杂质的控制，都会影响到整个产品的质量。”博纯材料产品经理施宏伟指出，气体杂质分析也是比较大的瓶颈，可能存在一两项没办法检测，导致整个流程一直卡壳。

“半导体特殊气体的安全性的问题更重要，只要百万分之三的浓度，就可以致人死亡。”Stuart Tison说。所以，气体的包装和储运也是该行业的技术壁垒之一。

在2016年，博纯就开始代工应特格在芯片制造工艺中的垄断性专利产品——SDS。所谓的SDS指的是用于特殊气体材料运输的钢瓶，通过特殊工艺，能够从根本上消除高危气体泄漏的可能性。全球半导体离子注入气体市场80%以上由SDS方式存储运输。

国产化契机

外资继续深入中国市场，也体现了在《国家集成电路产业发展推进纲要》和国家集成电路产业投资基金的推动下，半导体产业链向中国转移。