但一个月后，XTAL申请破产并试图出售知识产权，法院只能延迟判决。直到破产法院的程序完成后，圣克拉拉高等法院才在2019年5月做出最终裁决，判定XTAL赔偿阿斯麦8.45亿美元。但由于XTAL已经破产，阿斯麦无法拿到赔偿金，只是根据和解协议接手了XTAL的大部分知识产权，而XTAL则被禁止在一段时间内继续与Brion相同的业务。阿斯麦彼时表示，法院判决赔偿金的依据不是该公司受到的实际损害，而是根据XTAL通过窃取知识产权和商业机密节省的研发成本。
在XTAL侵权一案中，阿斯麦始终未提到东方晶源。但阿斯麦中国2月10日告诉观察者网：“他们之间有关系是公开信息”。
阿斯麦披露的财报显示，该公司2021年营收为186亿欧元（约合人民币1339亿元），同比增长33%；净利润为59亿欧元（约合人民币425亿元），同比增长66%；毛利率为53%，比上年同期提高4个百分点。 2021年，该公司共出货309台光刻机，比2020年多出51台；其中极紫外光刻机42台，比去年多11台。
阿斯麦光刻机出货信息
截至发稿，东方晶源尚未对阿斯麦的说法做出回应。
2021年8月，东方晶源曾在官网发布新闻称，该公司作为国内集成电路领域良率管理先锋企业，成功荣获第三批国家级专精特新“小巨人”企业称号，其三款核心产品填补了国内相关领域的空白，并且在产业化方面快速迈进，是目前国内唯一产线验证并实现订单的产品，对我国半导体设备供应链安全具有战略意义。该公司还提到，东方晶源自成立以来坚持以创新引领发展，申报国内外发明专利145项，授权发明专利49项，软件著作权14项，注册商标15项。
东方晶源官网截图
2021年9月，东方晶源披露，该公司完成新一轮数亿元股权融资，本轮融资由赛领资本、深创投领投，众多知名投资机构联合投资。“此轮融资将有助于东方晶源加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加速在集成电路良率管理领域的整体布局。”